马斯克为 Terafab 抢 EUV 机台铺路！「现身」ASML 技术大会大谈半导体计划

就在SpaceX准备上市前夕，执行长马斯克周四（11日）透过视讯方式，对晶片制造设备大厂艾司摩尔（ASML）的员工概述他进军半导体制造领域的计划，强调晶片制造对他两大核心业务的重要性，也表明他的晶圆厂将采用ASML的极紫外光（EUV）微影设备。

马斯克是透过线上连线方式参与ASML年度技术大会，并与执行长傅凯（Christophe Fouquet）对谈互动。该活动仅限员工参加，但ASML已证实马斯克确实透过线上露面。

在「现身」ASML技术大会的影片中，马斯克重点介绍了位于德州的超大型晶片工厂Terafab计划。该计划由 SpaceX、特斯拉以及人工智慧实验室xAI共同推动，初始投资约550亿美元，最终总投资可能高达1,190亿美元。马斯克是在3月正式宣布这项计划，目标是为特斯拉以及SpaceX生产晶片。

马斯克强调晶片自主制造对于他旗下公司的重要性，尤其是这座晶圆厂的规模会是特斯拉德州超级工厂的10倍大。他提到，Terafab 的目标是实现「垂直整合生产」，从微影光罩设计、逻辑与记忆体晶片制造，到最先进的封装，全部要在厂内一手包办。

马斯克说，Terafab计划完全使用ASML提供的EUV微影设备，以2奈米制程，每年生产1,000亿至2,000亿颗AI晶片。马斯克直言：「没有 ASML，台积电、三星与英特尔都无法生产最先进的AI晶片。没有EUV微影设备，就不可能有Terafab。」

ASML是全球唯一制造EUV设备的公司。

今年4月，英特尔正式加入Terafab计划，并计划将其下一代14A制程节点授权给马斯克的公司。此外，SpaceX员工也正与应用材料、东京威力科创（Tokyo Electron）等设备厂商接触，洽询蚀刻与沉积设备的报价与交期。

马斯克重申自己几天前在X平台上提到的观点，认为ASML拥有不可替代的地位，是「欧洲最伟大的公司」。

本文转自：TNT时报